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Dummy-Gate Structure to Improve ESD Robustness in a Fully-Salicided 130-nm CMOS Technology without Using Extra Salicide-Blocking Mask

机译:虚拟栅极结构可在不使用额外的硅化物阻挡掩模的情况下提高全硅化130纳米CmOs技术的EsD稳健性

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著录项

  • 作者

    Hsin-chyh Hsu; Ming-dou Ker;

  • 作者单位
  • 年度 2015
  • 总页数
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种
  • 中图分类

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